一種壓電諧振器和壓電諧振器的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201711121168.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN107733395A | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-02-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN107733395A | 申請(qǐng)公布日 | 2018-02-23 |
| 分類(lèi)號(hào) | H03H9/15;H03H3/04;H03H3/10 | 分類(lèi) | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 何軍;其他發(fā)明人請(qǐng)求不公開(kāi)姓名 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽云塔電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京品源專利代理有限公司 | 代理人 | 安徽云塔電子科技有限公司 |
| 地址 | 230088 安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道2800號(hào)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園二期F1棟22層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種壓電諧振器和壓電諧振器的制備方法。其中，壓電諧振器包括：襯底，所述襯底的上表面形成有一凹槽；第一壓電層，覆蓋于所述襯底的上表面以及所述凹槽的開(kāi)口，以使所述凹槽與所述第一壓電層形成空腔；第一電極和溫度補(bǔ)償層，設(shè)置在所述第一壓電層遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè)，在垂直于所述襯底的方向上，所述第一電極在所述襯底上的投影位于所述凹槽所在的區(qū)域。本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)在襯底的上表面形成有一凹槽，使凹槽與第一壓電層形成空腔，可以有效避免了聲波能量泄漏到襯底中，降低了聲波能量在襯底中的損耗，可得到高Q值的壓電諧振器；并且設(shè)置的溫度補(bǔ)償層的投影位于空腔的區(qū)域內(nèi)，可以有效改善溫度補(bǔ)償效率。 |
