一種廢氣處理設(shè)備及其水氣隔離裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921060841.6 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN210645763U 公開(公告)日 2020-06-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN210645763U 申請(qǐng)公布日 2020-06-02
分類號(hào) B01D53/18(2006.01)I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 張偉明;張國強(qiáng) 申請(qǐng)(專利權(quán))人 上海盛劍半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孫曉紅
地址 201000 上海市嘉定區(qū)嘉定工業(yè)區(qū)葉城路925號(hào)B區(qū)4幢J11226室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種水氣隔離裝置,包括水氣隔離裝置本體,還包括相對(duì)設(shè)置、用以固定所述水氣隔離裝置本體的上面板和下面板;所述上面板和所述下面板之間形成空腔,所述水氣隔離裝置本體貫穿所述上面板和所述下面板,所述水氣隔離裝置本體設(shè)有用以連通反應(yīng)腔和水箱的通道且所述水氣隔離裝置本體的側(cè)壁開設(shè)有連通所述空腔和所述通道的通孔。本實(shí)用新型還公開一種包括上述水氣隔離裝置的廢氣處理設(shè)備。本實(shí)用新型所提供的水氣隔離裝置有效降低了水箱中水氣倒流至反應(yīng)腔,減少了反應(yīng)腔的腐蝕。??