一種雙腔體式廢氣處理設(shè)備及其多入口管道切換系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921060842.0 申請日 -
公開（公告）號 CN210197003U 公開（公告）日 2020-03-27
申請公布號 CN210197003U 申請公布日 2020-03-27
分類號 F17D1/02;F17D3/01 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 張偉明;許明 申請（專利權(quán)）人 上海盛劍半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孫曉紅
地址 201000 上海市嘉定區(qū)嘉定工業(yè)區(qū)葉城路925號B區(qū)4幢J11226室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種多入口管道切換系統(tǒng)，用于雙腔式廢氣處理設(shè)備，包括用以連接第一腔體的第一管道和第三管道，還包括用以連接第二腔體的第二管道和第四管道；第一管道中設(shè)有第一三通閥，第二管道中設(shè)有第二三通閥，第一三通閥與第二三通閥通過第一連接管道連接；第三管道中設(shè)有第三三通閥，第四管道中設(shè)有第四三通閥，第三三通閥與第四三通閥通過第二連接管道連接。本實(shí)用新型還公開一種包括上述多入口管道切換系統(tǒng)的雙腔式廢氣處理設(shè)備。本實(shí)用新型所提供的多入口管道切換系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便。