星型雙回轉磁控濺射導電玻璃鍍膜生產(chǎn)線及生產(chǎn)工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200610062311.6 申請日 -
公開（公告）號 CN101130452B 公開（公告）日 2011-05-11
申請公布號 CN101130452B 申請公布日 2011-05-11
分類號 C03C17/23(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 許生;徐升東;莊炳河;曹志剛;高文波 申請（專利權）人 深圳豪威科技集團股份有限公司
代理機構 深圳新創(chuàng)友知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 深圳豪威真空光電子股份有限公司;深圳豪威科技集團股份有限公司
地址 518054 廣東省深圳市南山區(qū)深南大道市高新技術工業(yè)村W1A區(qū)一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種星型雙回轉磁控濺射導電玻璃鍍膜生產(chǎn)線及生產(chǎn)工藝，該生產(chǎn)線包括A面進出片室、B面進出片室、A面旋轉真空室、B面旋轉真空室、A面第一濺射工作室、B面第一濺射工作室、中間連接室、A面旋轉回架裝置、B面旋轉回架裝置；A面進出片室、A面第一濺射工作室分別與A面旋轉真空室相銜接；B面進出片室、B面第一濺射工作室分別與B面旋轉真空室相銜接；中間連接室二端分別與A面旋轉真空室、B面旋轉真空室相銜接。生產(chǎn)工藝中，通過同時進行二個方向的生產(chǎn)流程控制，共用主要的生產(chǎn)設備，使相對同樣產(chǎn)能的現(xiàn)有生產(chǎn)線，本發(fā)明的生產(chǎn)線占地面積小，投入設備成本大大降低，生產(chǎn)維護成本也大幅度降低，經(jīng)濟效益與社會效益十分顯著。