柔性透明導(dǎo)電薄膜及其制造方法和觸控面板

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210209489.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102723128B 公開(kāi)（公告）日 2015-02-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN102723128B 申請(qǐng)公布日 2015-02-18
分類(lèi)號(hào) H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;G06F3/044(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 許生;許朝陽(yáng);張忠義 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 深圳豪威科技集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳匯智容達(dá)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 深圳豪威真空光電子股份有限公司;深圳豪威科技集團(tuán)股份有限公司
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)科技園北區(qū)朗山二號(hào)路豪威大廈三樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種透明導(dǎo)電薄膜及其制造方法，該薄膜包括柔性基材和透明導(dǎo)電氧化物層，所述柔性基材的表面由內(nèi)到外依次疊設(shè)有第一硬涂層、第一層底涂層、第二層底涂層，所述透明導(dǎo)電氧化物層設(shè)于第二層底涂層上。本發(fā)明還提供一種具有上述柔性透明導(dǎo)電薄膜的觸控面板。通過(guò)在柔性基材的一面依次由內(nèi)到外設(shè)有硬涂層、第一層底涂層、第二層底涂層，透明導(dǎo)電氧化物層，在圖案部和非圖案部基本無(wú)差異，圖案不易被發(fā)現(xiàn)，外觀良好；可廣泛應(yīng)用于靜電電容結(jié)合方式觸控面板。制造時(shí)，采用中頻反應(yīng)磁控濺射技術(shù)依次連續(xù)沉積一次形成各層，產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝流程短、綠色環(huán)保、生產(chǎn)效率高、成本低。