一種連續(xù)式化學(xué)氣相沉積爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023061490.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214991845U 公開（公告）日 2021-12-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN214991845U 申請(qǐng)公布日 2021-12-03
分類號(hào) C23C16/54（2006.01）I;C23C16/56（2006.01）I;C23C16/02（2006.01）I;C23C16/26（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 申富強(qiáng);王景珍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海騏杰碳素材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海創(chuàng)開專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 汪發(fā)成
地址 201500上海市金山區(qū)廊下鎮(zhèn)廊華公路95弄64號(hào)110室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種連續(xù)式化學(xué)氣相沉積爐，涉及復(fù)合材料制造設(shè)備領(lǐng)域。本實(shí)用新型沉積爐內(nèi)依次設(shè)置有準(zhǔn)備區(qū)、沉積區(qū)和冷卻區(qū)；沉積區(qū)包括升降臺(tái)、至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)承載臺(tái)、與旋轉(zhuǎn)承載臺(tái)相對(duì)應(yīng)的加熱器；準(zhǔn)備區(qū)、沉積區(qū)和冷卻區(qū)外部分別安裝有第一密封門、第二密封門、第三密封門。本實(shí)用新型能夠做到同一個(gè)沉積爐同時(shí)有三個(gè)制備件分別于三個(gè)區(qū)內(nèi)進(jìn)行預(yù)熱、沉積和冷卻，并依次連續(xù)性的轉(zhuǎn)換，大大加速了單個(gè)沉積爐的復(fù)合材料的制備效率，節(jié)約了時(shí)間；沉積區(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使裝載碳纖維預(yù)制體的承載板能夠于加熱制備過(guò)程中進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，保持內(nèi)部混合氣體和加熱溫度對(duì)其表面作用的均勻性，提高了碳纖維預(yù)制體制備成品的品質(zhì)。