一種具有多軸旋轉(zhuǎn)式承載結(jié)構(gòu)的沉積爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023071154.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215050682U 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號 CN215050682U 申請公布日 2021-12-07
分類號 C23C16/458（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I;C23C16/26（2006.01）I;C04B35/83（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 申富強(qiáng);王景珍 申請（專利權(quán)）人 上海騏杰碳素材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海創(chuàng)開專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 汪發(fā)成
地址 201500上海市金山區(qū)廊下鎮(zhèn)廊華公路95弄64號110室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種具有多軸旋轉(zhuǎn)式承載結(jié)構(gòu)的沉積爐，涉及碳纖維復(fù)合材料制造設(shè)備領(lǐng)域。本實(shí)用新型包括至少兩個(gè)加熱器以及與加熱器相對應(yīng)的安裝于承載臺上的至少兩個(gè)旋轉(zhuǎn)承載板；加熱器采用圓形整體加熱器、圓形拼接加熱器、方形整體加熱器或方形拼接加熱器中任意一種；加熱器材質(zhì)采用石墨、碳/碳或鎢鉬材料；承載臺的周側(cè)壁上安裝有與爐體內(nèi)側(cè)壁擠壓密封的密封圈。本實(shí)用新型使裝載碳纖維預(yù)制體的旋轉(zhuǎn)承載板能夠于加熱制備過程中進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，保持內(nèi)部混合氣體和加熱溫度對其表面作用的均勻性，提高了碳纖維預(yù)制體制備成品的品質(zhì)，確保碳源氣體在爐腔底部開始充分裂解揮發(fā)，提高產(chǎn)品的整體沉積效果。