一種光學(xué)元件光學(xué)表面面形掃描用位移臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921212988.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN210268551U 公開（公告）日 2020-04-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN210268551U 申請(qǐng)公布日 2020-04-07
分類號(hào) G01B11/24;G01B11/02 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王曰明;李明富;梁邦遠(yuǎn);王世雷;孫佳卓 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 青島前哨精密儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京和信華成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張曉
地址 266000 山東省青島市高新區(qū)錦暄路61號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種光學(xué)元件光學(xué)表面面形掃描用位移臺(tái)，包括基座，基座的左、右兩端垂直固定設(shè)置有立柱，兩個(gè)立柱的頂部垂直固定設(shè)置有橫梁；基座的上表面設(shè)置有平臺(tái)；平臺(tái)的底部設(shè)置有第一方向標(biāo)尺光柵，基座上固定設(shè)置有第一光柵讀數(shù)頭；橫梁的前端面上設(shè)置有第一滑臺(tái)和第二滑臺(tái)；橫梁的前端面設(shè)置有第二方向標(biāo)尺光柵，第一滑臺(tái)上固定設(shè)置有第二光柵讀數(shù)頭；第二滑臺(tái)上固定設(shè)置有第二光柵讀數(shù)頭。本實(shí)用新型中平臺(tái)、第一滑臺(tái)、第二滑臺(tái)均由直線電機(jī)控制滑動(dòng)，直線電機(jī)的傳動(dòng)精度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、穩(wěn)定性高，同時(shí)在各個(gè)相應(yīng)的光柵尺位移傳感器的配合下，能夠通過位移反饋出待檢測(cè)光學(xué)元件的相應(yīng)位置，且定位精度較高。