一種用于532nm的偏振分束光柵

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021181134.5 申請日 -
公開（公告）號 CN212321886U 公開（公告）日 2021-01-08
申請公布號 CN212321886U 申請公布日 2021-01-08
分類號 G02B5/18(2006.01)I;G02B5/30(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 張新彬;梁萬國;陳懷熹;馮新凱;李廣偉;古克義 申請（專利權(quán)）人 福建中科晶創(chuàng)光電科技有限公司
代理機構(gòu) 福州科揚專利事務(wù)所 代理人 魏珊珊
地址 350100福建省福州市閩侯縣上街鎮(zhèn)海西高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園中科院海西研究院工作區(qū)3號樓726室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種用于532nm的偏振分束光柵，包括薄膜和固定在所述薄膜底部的介質(zhì)基底；所述薄膜的溝槽形狀為正弦槽型；所述薄膜的材質(zhì)為金屬材質(zhì)；所述介質(zhì)基底的材質(zhì)為玻璃；所述薄膜的周期P的范圍為266nm至532nm；所述薄膜的厚度T的范圍為100nm至1um；所述薄膜的刻蝕深度H的范圍為70nm至120nm。該偏振分束光柵可以對532nm激光實現(xiàn)偏振分束，把TE偏振光衍射至0級，衍射效率大于95%，把TM偏振光衍射至?1級，衍射效率大于95%。??