一種干式真空泵冷卻系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111595538.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114396372A 公開（公告）日 2022-04-26
申請公布號 CN114396372A 申請公布日 2022-04-26
分類號 F04B39/06（2006.01）I;H02K9/19（2006.01）I 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 孔祥玲;楊帆;王云;鐘瑞;李鵬明 申請（專利權(quán)）人 中科儀（南通）半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 南通國鑫智匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王薇薇
地址 226300江蘇省南通市南通高新區(qū)雙福路西側(cè)、文振路南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種干式真空泵冷卻系統(tǒng)，涉及真空泵冷卻技術(shù)領(lǐng)域，包括底座和從左到右依次設(shè)置于底座頂部的泵體、電機(jī)與循環(huán)冷卻裝置，泵體通過電機(jī)驅(qū)動，循環(huán)冷卻裝置中的冷卻管分別設(shè)置于電機(jī)外殼和泵體的出氣口處，電機(jī)右側(cè)的冷卻管中設(shè)置有用于控制冷卻水開啟的第一開啟裝置，泵體右上方的冷卻管中設(shè)置有用于控制冷卻水開啟的第二開啟裝置。在本發(fā)明中，通過電機(jī)和泵體具體的熱量情況，分別開啟第一開啟裝置和第二開啟裝置中的閥門，自動控制電機(jī)和泵體所需冷卻液的流量；且在閥門開啟的同時(shí)帶動水流檢測機(jī)構(gòu)，使得操作者實(shí)時(shí)監(jiān)測電機(jī)和泵體所用冷卻液具體的流量情況，避免出現(xiàn)缺少冷卻液工作的現(xiàn)象。