一種具有排氣口監(jiān)測功能的羅茨真空泵
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111642594.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114483588A | 公開（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114483588A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-13 |
| 分類號(hào) | F04C29/12（2006.01）I;F04C29/00（2006.01）I;F04C29/06（2006.01）I;F04C28/28（2006.01）I;B01D50/60（2022.01）I;B01D46/681（2022.01）I | 分類 | 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵; |
| 發(fā)明人 | 王光玉;徐靜怡;王云;楊帆;張佳崎 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中科儀（南通）半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南通國鑫智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 226300江蘇省南通市南通高新區(qū)雙福路西側(cè)、文振路南側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種具有排氣口監(jiān)測功能的羅茨真空泵，涉及羅茨真空泵排氣技術(shù)領(lǐng)域，包括底座、設(shè)于底座頂部的泵體、設(shè)于泵體頂部的進(jìn)氣管和設(shè)于泵體底部的排氣管，排氣管的外端安裝有連通管，連通管的外端設(shè)有消音管，過濾腔內(nèi)部灌注有凈化液；過濾腔內(nèi)部設(shè)有導(dǎo)流機(jī)構(gòu)；連通管內(nèi)部設(shè)有封堵機(jī)構(gòu)；本發(fā)明通過連通管與封堵機(jī)構(gòu)和導(dǎo)流機(jī)構(gòu)的配合，便于對(duì)泵體所排出的氣體進(jìn)行粉塵含量監(jiān)測，便于在氣體中的粉塵含量超過標(biāo)準(zhǔn)閾值時(shí)能夠?qū)B通管進(jìn)行自動(dòng)封堵，使含粉塵量超標(biāo)的氣體輸送至過濾腔內(nèi)對(duì)氣體進(jìn)行凈化處理，有效避免泵體所排出的高含粉塵量的氣體對(duì)空氣造成污染，延長了消聲器的使用壽命；解決了現(xiàn)有真空泵在排氣時(shí)易出現(xiàn)大量粉塵的問題。 |
