一種用于安裝在晶片拋光設(shè)備上的拋光液回收裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821944892.0 申請日 -
公開（公告）號 CN209140708U 公開（公告）日 2019-07-23
申請公布號 CN209140708U 申請公布日 2019-07-23
分類號 B24B57/00 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王文昌;于會永;趙春峰;袁韶陽;荊愛明;穆成鋒;張軍軍 申請（專利權(quán)）人 大慶佳昌晶能信息材料有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 163000 黑龍江省大慶市高新區(qū)新發(fā)街1-2號301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及回收裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種用于安裝在晶片拋光設(shè)備上的拋光液回收裝置，包括回收裝置主體、收集斗以及積液斗，所述回收裝置主體內(nèi)設(shè)有工作臺，所述工作臺底部固定安裝有收集斗，所述收集斗底部固定安裝有電機，所述電機頂部固定安裝有連接軸，所述連接軸頂部固定安裝有攪拌螺旋，所述工作臺頂部外圍平板之間固定安裝有單向?qū)Р?，所述工作臺頂部中心平板之間固定安裝有雙向?qū)Р?，所述單向?qū)Р叟c雙向?qū)Р劢徊婵诠潭ò惭b有漏孔，本實用新型通過設(shè)置的單向?qū)Р垡约半p向?qū)Р?，在工作臺頂部平板之間固定開設(shè)，將多余的拋光液導向漏孔，通過漏孔流入收集斗，將多余的拋光液聚集在收集斗內(nèi)，使用時可以輕松收集拋光液并很好的聚集。