一種用于砷化鎵生產(chǎn)的熱場裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721475709.2 申請日 -
公開（公告）號 CN207418915U 公開（公告）日 2018-05-29
申請公布號 CN207418915U 申請公布日 2018-05-29
分類號 C30B29/42;C30B35/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王文昌;于會永;張軍軍;趙春峰;袁韶陽;荊愛明;穆成鋒 申請（專利權(quán)）人 大慶佳昌晶能信息材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 163000 黑龍江省大慶市薩爾圖區(qū)高新區(qū)新發(fā)街1-2號301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于砷化鎵生產(chǎn)的熱場裝置，涉及砷化鎵生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，包括爐體、保溫筒、電加熱筒、坩堝托架、坩堝和導(dǎo)流筒，電加熱筒上設(shè)有用于將電加熱筒連接在電路中的電極，所述的保溫筒的下沿設(shè)置有托環(huán)，托環(huán)的外沿連接有吊繩，所述的爐體內(nèi)側(cè)的上沿設(shè)置有掛鉤，所述的吊繩的上端掛在掛鉤上，所述的保溫筒的下方設(shè)置有保溫板，保溫筒的下沿設(shè)置有截面為梯形的環(huán)形凸起，環(huán)形凸起插裝在保溫板上的凹槽內(nèi)，所述的電極的外側(cè)設(shè)置有圓錐面，該圓錐面與保溫板上的圓錐孔相匹配，從而實(shí)現(xiàn)對電加熱筒的定位。本實(shí)用新型在保溫筒底部設(shè)置了托環(huán)，通過吊繩可將托環(huán)連同保溫筒一同吊起，與現(xiàn)有技術(shù)相比，可有效避免保溫筒的損傷。