一種高靈敏芯片傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410020082.6 申請日 -
公開（公告）號 CN104793152B 公開（公告）日 2019-02-15
申請公布號 CN104793152B 申請公布日 2019-02-15
分類號 G01R33/06 分類 測量；測試;
發(fā)明人 時(shí)啟猛;王春華 申請（專利權(quán)）人 北京嘉岳同樂極電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100083 北京市海淀區(qū)信息路甲28號科實(shí)大廈B座10層A-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種高靈敏芯片傳感器，包括芯片和支撐體，所述芯片包括襯底、磁感應(yīng)膜和芯片焊盤，所述磁感應(yīng)膜和所述芯片焊盤設(shè)于所述襯底的表面，所述芯片焊盤作為所述芯片的輸入輸出端與所述磁感應(yīng)膜對應(yīng)電連接，所述芯片距離被檢測介質(zhì)最近的面為所述芯片檢測面；所述芯片固定于所述支撐體，在所述支撐體上設(shè)有布線和支撐體焊盤，所述支撐體焊盤與所述布線對應(yīng)電連接；所述磁感應(yīng)膜設(shè)于與所述芯片檢測面相鄰的面，而且，所述磁感應(yīng)膜靠近所述芯片檢測面一側(cè)設(shè)置。該芯片傳感器分辨率、靈敏度高，一致性好。