一種LTCC腔體結(jié)構(gòu)基板濕法制作裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820806961.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN208336153U 公開(kāi)(公告)日 2019-01-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN208336153U 申請(qǐng)公布日 2019-01-04
分類(lèi)號(hào) H01L21/48 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙成剛;李廣新;康建宏;陳魯國(guó);劉齊輝 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 廣東成電華瓷電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京卓恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 廣東成電華瓷電子科技有限公司;東莞成電創(chuàng)新電子科技有限公司
地址 523000 廣東省東莞市松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)總部二路17號(hào)B111
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種LTCC腔體結(jié)構(gòu)基板濕法制作裝置,包括流延成型品,所述流延成型品內(nèi)設(shè)有腔體,所述流延成型品由多組所述流延基板組成,且流延基板之間疊加堆放,所述流延基板的一側(cè)表層設(shè)有兩邊沿設(shè)有銜接條,且流延基板位于銜接條的正下方開(kāi)設(shè)有銜接凹槽,所述流延基板的中間位置設(shè)有通孔。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置硅橡膠體阻斷該部分區(qū)域漿料進(jìn)入,硅橡膠體與流延漿料中的丙烯酸樹(shù)脂因自身的化學(xué)性質(zhì)相互排斥,流延結(jié)束后經(jīng)過(guò)靜置、烘干、等靜壓便可將硅橡膠體輕松取出,該裝置制作的基板腔體內(nèi)壁光滑、平整,且硅橡膠體造價(jià)低廉,可根據(jù)腔體尺寸需要加工成各種形狀,較LTCC干法工藝動(dòng)輒上千萬(wàn)的設(shè)備來(lái)說(shuō)大大降低了設(shè)備成本。