一種翻轉(zhuǎn)式濺射鍍膜機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410011791.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104775099B 公開（公告）日 2017-05-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN104775099B 申請(qǐng)公布日 2017-05-17
分類號(hào) C23C14/35(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 呂春哲;孫旭東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中國(guó)光大銀行股份有限公司煙臺(tái)分行
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 265500 山東省煙臺(tái)市福山高新區(qū)振華街859號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種鍍膜機(jī)，尤其是一種用于晶片自動(dòng)翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)式濺射鍍膜機(jī)，包括晶片夾具、治具架、固定旋轉(zhuǎn)軸、圓柱滾珠、壓件、彈簧、頂絲、安裝塊、轉(zhuǎn)輪和翻板，治具架安裝在固定旋轉(zhuǎn)軸上，固定旋轉(zhuǎn)軸安裝在安裝塊的槽內(nèi)，下面用轉(zhuǎn)輪限位固定，固定旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有兩個(gè)2個(gè)V型槽，V型槽成180°分布，圓柱滾珠圓柱滾珠采用壓件、彈簧和頂絲固定在安裝塊的槽孔內(nèi)，圓柱滾珠的柱面卡在固定旋轉(zhuǎn)軸的一側(cè)V型槽內(nèi)，翻板固定在治具架需要翻轉(zhuǎn)的位置，同時(shí)使翻板接觸弧面和轉(zhuǎn)輪弧面相切，該裝置可用于濺射鍍膜機(jī)鍍膜過程中的晶片翻轉(zhuǎn)，從而減少了鍍膜過程中的工序，提高了工作效率，降低了生產(chǎn)成本。