高低溫關節(jié)式流道裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120098754.0 申請日 -
公開（公告）號 CN214094020U 公開（公告）日 2021-08-31
申請公布號 CN214094020U 申請公布日 2021-08-31
分類號 F17D1/08（2006.01）I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 楊文寶 申請（專利權）人 天津金海通半導體設備股份有限公司
代理機構 天津企興智財知識產權代理有限公司 代理人 蘇沖
地址 300384天津市濱海新區(qū)高新區(qū)華苑產業(yè)區(qū)物華道8號A106
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種高低溫關節(jié)式流道裝置，包括節(jié)流通道及其兩端分別安裝的第一連接組件和第二連接組件，所述節(jié)流通道包括若干相互平行設置的通道組件，所述通道組件包括外夾板及其中部套接的轉板，且相鄰兩個外夾板通過轉板相連接，所述外夾板包括相互平行且對稱設置的第一分流塊和第二分流塊，轉板位于第一分流塊和第二分流塊之間。本實用新型所述的高低溫關節(jié)式流道裝置，可以兼容高低溫氣體預溫方式及高低溫液體預溫方式，根據工況需求即可以進行小彎曲半徑的往復運動，也可以在平面上進行X、Y方向運動，支持運動范圍大。