一種真空腔內轉動部件的定位裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210390288.9 申請日 -
公開（公告）號 CN102881547B 公開（公告）日 2015-07-08
申請公布號 CN102881547B 申請公布日 2015-07-08
分類號 H01J37/244(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王佳;劉訓春;席峰;夏洋 申請（專利權）人 北京中科泰龍電子技術有限公司
代理機構 北京華沛德權律師事務所 代理人 中國科學院微電子研究所;北京泰龍電子技術有限公司
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種真空腔內轉動部件的定位裝置，屬于微電子技術領域。所述裝置包括：激光反射裝置、密封部件、腔體外玻璃密封件和密封框架；激光反射裝置位于反應室內，并與密封框架的頂端通過螺紋連接；密封框架由下向上裝入反應室，并通過螺釘與反應室固定連接；腔體外玻璃密封件與密封框架的底端通過螺紋連接；反應室與密封框架連接之處設置有密封部件；腔體外玻璃密封件與密封框架底端連接之處設置有密封部件和玻璃。本發(fā)明的定位裝置用于濺射臺中，特別是在有污染和高溫的真空環(huán)境下，可以實現(xiàn)高速轉動部件的高精度定位，且裝置結構簡單、成本低廉、可操作性強、精度高及維護性好。