一種真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210390288.9 申請日 -
公開（公告）號 CN102881547B 公開（公告）日 2015-07-08
申請公布號 CN102881547B 申請公布日 2015-07-08
分類號 H01J37/244(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王佳;劉訓(xùn)春;席峰;夏洋 申請（專利權(quán)）人 北京中科泰龍電子技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 代理人 中國科學(xué)院微電子研究所;北京泰龍電子技術(shù)有限公司
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置，屬于微電子技術(shù)領(lǐng)域。所述裝置包括：激光反射裝置、密封部件、腔體外玻璃密封件和密封框架；激光反射裝置位于反應(yīng)室內(nèi)，并與密封框架的頂端通過螺紋連接；密封框架由下向上裝入反應(yīng)室，并通過螺釘與反應(yīng)室固定連接；腔體外玻璃密封件與密封框架的底端通過螺紋連接；反應(yīng)室與密封框架連接之處設(shè)置有密封部件；腔體外玻璃密封件與密封框架底端連接之處設(shè)置有密封部件和玻璃。本發(fā)明的定位裝置用于濺射臺中，特別是在有污染和高溫的真空環(huán)境下，可以實現(xiàn)高速轉(zhuǎn)動部件的高精度定位，且裝置結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、可操作性強、精度高及維護性好。