一種射頻阻抗自動匹配裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210392259.6 申請日 -
公開（公告）號 CN102891661B 公開（公告）日 2016-03-09
申請公布號 CN102891661B 申請公布日 2016-03-09
分類號 H03H7/38(2006.01)I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 王佳;劉訓(xùn)春 申請（專利權(quán)）人 北京中科泰龍電子技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 代理人 中國科學(xué)院微電子研究所;北京泰龍電子技術(shù)有限公司
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種射頻阻抗自動匹配裝置及方法，屬于微電子技術(shù)領(lǐng)域。所述裝置包括：第一及第二真空電容檢測機構(gòu)、第一及第二信號變送器、功率計和單片機。第一、第二真空電容檢測機構(gòu)的輸出端分別與第一信號變送器電連接，功率計與第二信號變送器電連接，單片機的輸入端分別與第一信號變送器和第二信號變送器的輸出端電連接，單片機的控制輸出端分別與第一、第二真空電容檢測機構(gòu)的輸入端電連接。本發(fā)明還提供了上述射頻阻抗自動匹配裝置的匹配方法。本發(fā)明可以使匹配過程自動、迅速，同時兼容人工手動操作，可以實現(xiàn)自動和人工手動操作達到匹配負載的目的。