一種低溫探針臺(tái)清針砂紙的更換裝置和更換方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210276338.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114346873B | 公開（公告）日 | 2022-06-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114346873B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-24 |
| 分類號(hào) | B24B27/033;B24B55/00;G01R3/00 | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 劉朋;聞國(guó)濤;關(guān)姜維;雷慶汪;劉清華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 南京偉測(cè)半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 鄭州裕晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 王宇飛 |
| 地址 | 210000 江蘇省南京市浦口區(qū)浦口經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)雙峰路69號(hào)C-93 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種低溫探針臺(tái)清針砂紙的更換裝置，包括設(shè)置在探針臺(tái)機(jī)臺(tái)內(nèi)的中轉(zhuǎn)倉，所述中轉(zhuǎn)倉的前側(cè)設(shè)置有開設(shè)在探針臺(tái)機(jī)臺(tái)前壁上的前門，所述中轉(zhuǎn)倉的后側(cè)開設(shè)有后門，所述中轉(zhuǎn)倉內(nèi)設(shè)置有用于轉(zhuǎn)移清針板的搬運(yùn)裝置；本發(fā)明還涉及一種低溫探針臺(tái)清針砂紙的更換方法，通過在探針臺(tái)機(jī)臺(tái)內(nèi)隔離出一個(gè)中轉(zhuǎn)過渡空間，更換的清針砂紙?jiān)趽Q到托架上前先在中轉(zhuǎn)過渡空間內(nèi)靜置，待溫度與探針臺(tái)機(jī)臺(tái)內(nèi)的低溫一致后再開放中轉(zhuǎn)過渡空間與探針臺(tái)機(jī)臺(tái)內(nèi)部連通，之后對(duì)當(dāng)前使用的清針砂紙進(jìn)行更換；本發(fā)明的裝置和方法在更換清針砂紙時(shí)避免了直接開啟探針臺(tái)機(jī)臺(tái)前門導(dǎo)致的大量的低溫?fù)p失，降低了測(cè)試風(fēng)險(xiǎn)、減少誤測(cè)，提高了測(cè)試效率。 |
