一種晶舟盒內(nèi)晶圓位置檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210289165.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114379830B 公開（公告）日 2022-06-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN114379830B 申請(qǐng)公布日 2022-06-10
分類號(hào) B65B7/28（2006.01）I;B65B57/20（2006.01）I;G01B11/00（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 喬從緩;聞國(guó)濤;喬立寶;于文奇;孫玉男 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京偉測(cè)半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州裕晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 210000江蘇省南京市浦口區(qū)浦口經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)雙峰路69號(hào)C-93
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種晶舟盒內(nèi)晶圓位置檢測(cè)裝置，包括處理單元和輸送帶，所述輸送帶上依次設(shè)置有合蓋位和后拍照位，所述輸送帶上方對(duì)應(yīng)合蓋位設(shè)置有合蓋機(jī)械臂，所述輸送帶上方對(duì)應(yīng)后拍照位設(shè)置有后拍照機(jī)械臂；所述后拍照機(jī)械臂包括可上下伸縮的第三伸縮架和設(shè)置在第三伸縮架上的后拍照機(jī)組，所述后拍照機(jī)組包括從前方、后方、左方、右方和上方分別對(duì)到達(dá)后拍照位的晶舟盒拍照的五個(gè)相機(jī)；通過(guò)后拍照機(jī)組對(duì)蓋上盒蓋的盒體進(jìn)行拍照，分辨晶舟盒的盒蓋是否蓋好、晶舟盒內(nèi)的晶圓的位置是否正確，若一旦有位置錯(cuò)誤，則報(bào)警提醒人工介入處理，防止晶圓由于位置錯(cuò)位而導(dǎo)致的后續(xù)運(yùn)輸過(guò)程中出現(xiàn)晶圓破裂等問(wèn)題。