晶圓分導(dǎo)設(shè)備及其工作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210299371.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114400199A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-04-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114400199A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-04-26 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/677（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 吳慶;王剛;聞國(guó)濤;陳迎濤;高大會(huì) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 南京偉測(cè)半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海領(lǐng)洋專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 羅曉飛 |
| 地址 | 210000江蘇省南京市浦口區(qū)浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)雙峰路69號(hào)C-93 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)晶圓分導(dǎo)設(shè)備及其工作方法，所述晶圓分導(dǎo)設(shè)備的工作方法包括：在承載座上形成第一承載位，用以承載裝有待分導(dǎo)晶圓的承載晶舟；承載于所述第一承載位的所述承載晶舟通過(guò)帶移組件帶動(dòng)止移擋移動(dòng)，以避讓出用于分導(dǎo)承載于所述承載晶舟的分導(dǎo)臂移動(dòng)的空間，其中所述止移擋被設(shè)置沿多個(gè)分導(dǎo)臂排列的方向延伸，所述止移擋以能夠被所述帶移組件帶動(dòng)而能夠在移離所述推導(dǎo)端移動(dòng)路徑的狀態(tài)和回復(fù)至所述推導(dǎo)端移動(dòng)路徑的狀態(tài)之間切換的方式設(shè)置于所述承載座，其中每個(gè)所述分導(dǎo)臂與所述承載晶舟的第一放置槽的晶圓相對(duì)應(yīng)；推動(dòng)所述分導(dǎo)臂，進(jìn)而分導(dǎo)出與被推動(dòng)的所述分導(dǎo)臂相對(duì)應(yīng)且位于所述承載晶舟的第一放置槽的所述晶圓。 |
