一種晶圓清理裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123285659.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216539937U 公開（公告）日 2022-05-17
申請公布號 CN216539937U 申請公布日 2022-05-17
分類號 B08B5/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B08B5/04（2006.01）I;B01D46/02（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 劉琨 申請（專利權(quán)）人 南京偉測半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 上海和華啟核知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 211806江蘇省南京市浦口區(qū)浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)雙峰路69號C-93
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型揭示了一種晶圓清理裝置，包括操作臺，所述操作臺上通過第一安裝架安裝有至少兩個清理頭，所述清理頭上連接有通氣管，所述通氣管遠離所述清理頭一端通過腳踏壓力閥連接有氣體管道。本實用新型在清理過程中可雙手控制晶圓移動，保持晶圓清理過程的穩(wěn)定性。