一種低溫探針臺(tái)清針砂紙的更換裝置和更換方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210276338.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN114346873A 公開(kāi)(公告)日 2022-06-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN114346873A 申請(qǐng)公布日 2022-06-24
分類(lèi)號(hào) B24B27/033;B24B55/00;G01R3/00 分類(lèi) 磨削;拋光;
發(fā)明人 劉朋;聞國(guó)濤;關(guān)姜維;雷慶汪;劉清華 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 南京偉測(cè)半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州裕晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 王宇飛
地址 210000 江蘇省南京市浦口區(qū)浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)雙峰路69號(hào)C-93
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種低溫探針臺(tái)清針砂紙的更換裝置,包括設(shè)置在探針臺(tái)機(jī)臺(tái)內(nèi)的中轉(zhuǎn)倉(cāng),所述中轉(zhuǎn)倉(cāng)的前側(cè)設(shè)置有開(kāi)設(shè)在探針臺(tái)機(jī)臺(tái)前壁上的前門(mén),所述中轉(zhuǎn)倉(cāng)的后側(cè)開(kāi)設(shè)有后門(mén),所述中轉(zhuǎn)倉(cāng)內(nèi)設(shè)置有用于轉(zhuǎn)移清針板的搬運(yùn)裝置;本發(fā)明還涉及一種低溫探針臺(tái)清針砂紙的更換方法,通過(guò)在探針臺(tái)機(jī)臺(tái)內(nèi)隔離出一個(gè)中轉(zhuǎn)過(guò)渡空間,更換的清針砂紙?jiān)趽Q到托架上前先在中轉(zhuǎn)過(guò)渡空間內(nèi)靜置,待溫度與探針臺(tái)機(jī)臺(tái)內(nèi)的低溫一致后再開(kāi)放中轉(zhuǎn)過(guò)渡空間與探針臺(tái)機(jī)臺(tái)內(nèi)部連通,之后對(duì)當(dāng)前使用的清針砂紙進(jìn)行更換;本發(fā)明的裝置和方法在更換清針砂紙時(shí)避免了直接開(kāi)啟探針臺(tái)機(jī)臺(tái)前門(mén)導(dǎo)致的大量的低溫?fù)p失,降低了測(cè)試風(fēng)險(xiǎn)、減少誤測(cè),提高了測(cè)試效率。