一種高品質(zhì)自支撐金剛石厚膜的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610069254.8 申請日 -
公開（公告）號 CN105506576B 公開（公告）日 2018-04-13
申請公布號 CN105506576B 申請公布日 2018-04-13
分類號 C23C16/27;C23C16/511;C23C16/52 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 于盛旺;王榮;高潔;黑鴻君;張阿莉;劉小萍;賀志勇 申請（專利權(quán)）人 山西新碳超硬材料科技有限公司
代理機構(gòu) 太原市科瑞達專利代理有限公司 代理人 太原理工大學(xué);太原理工技術(shù)轉(zhuǎn)移有限公司;山西新碳超硬材料科技有限公司
地址 030024 山西省太原市萬柏林區(qū)迎澤西大街79號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高品質(zhì)自支撐金剛石厚膜的制備方法，該方法包括：先使用化學(xué)氣相沉積法制備厚度為0.5~0.7 mm的高品質(zhì)自支撐金剛石膜；然后研磨、拋光膜的形核面，去除殘留的碳化物，將其作為基體，在形核面上制備厚度為1~3 mm的高品質(zhì)金剛石膜；在兩次制備過程中，金剛石膜的厚度每增加50~100μm，減少甲烷流量，減少值為甲烷初始流量的0.5~1%。使用該方法制備的自支撐金剛石厚膜具有品質(zhì)均勻性好、無裂紋、機械強度高等優(yōu)點。