一種氮化鎵傳感器、制備方法和多傳感器系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510845956.6 申請日 -
公開（公告）號 CN105424780B 公開（公告）日 2018-06-22
申請公布號 CN105424780B 申請公布日 2018-06-22
分類號 G01N27/414 分類 測量；測試;
發(fā)明人 法比奧·圣阿加塔;艾莉娜·耶爾沃利諾;羅伯特·索科洛夫斯基;董明智;張國旗;王小葵 申請（專利權(quán)）人 北京代爾夫特電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京煦潤律師事務(wù)所 代理人 周倩
地址 101300 北京市順義區(qū)高麗營鎮(zhèn)文化營村北(臨空二路1號)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氮化鎵傳感器、制備方法和多傳感器系統(tǒng)，該傳感器包括：異質(zhì)半導(dǎo)體襯底，以及位于其上的III族氮化物基HEMT結(jié)構(gòu)的晶體管；其中，所述晶體管的源極和漏極金屬均設(shè)置在晶體管頂層的半導(dǎo)體之上，柵極表面具有經(jīng)功能化處理得到的功能化膜，源極和漏極之間裸露的柵極區(qū)域形成傳感區(qū)域；通過對所述傳感區(qū)域進行凹陷刻蝕或傳感層減薄的方式，對所述傳感區(qū)域進行優(yōu)化處理；使用優(yōu)化處理后的所述傳感區(qū)域，通過檢測所述傳感區(qū)域的電流變化，實現(xiàn)對與所述傳感區(qū)域接觸的待檢測物的濃度檢測。本發(fā)明的方案，可以克服現(xiàn)有技術(shù)中靈敏度低、檢測范圍小和便攜性差等缺陷，實現(xiàn)靈敏度高、檢測范圍大和便攜性好的有益效果。