一種半導(dǎo)體濺合設(shè)備專用測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022289109.5 申請日 -
公開（公告）號 CN213689530U 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN213689530U 申請公布日 2021-07-13
分類號 G01N33/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 吳慶巖 申請（專利權(quán)）人 浙江蔚福科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州昱呈專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 雷仕榮
地址 314100浙江省嘉興市嘉善縣惠民街道鑫達(dá)路99號15號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種半導(dǎo)體濺合設(shè)備專用測試裝置，包括框架本體、懸臂梁、檢測模塊、第一液體測試組件、第二液體測試組件、第一氣體測試組件和第二氣體測試組件，所述框架本體包括底板、第一豎板、第二豎板和輔助板，所述第一豎板與第二豎板分別豎直安裝在底板的兩側(cè)。本實(shí)用新型優(yōu)點(diǎn)在于：將需測試的氣體通過第一進(jìn)氣口輸送至第一連接管內(nèi)，并將第一連接管的另一端連接第一氣體流量傳感器，使得第一氣體流量傳感器可以對第一連接管的氣體進(jìn)行測試，測試完成后，通過連接第一輸液接口，將清潔液體輸送至第一連接管內(nèi)，對第一連接管內(nèi)進(jìn)行清潔，防止因第一連接管內(nèi)殘留的測試氣體，而影響后續(xù)測試的結(jié)果。