自動氣液分離供酸系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122096489.5 申請日 -
公開（公告）號 CN215611113U 公開（公告）日 2022-01-25
申請公布號 CN215611113U 申請公布日 2022-01-25
分類號 B01F33/80（2022.01）I;B01F35/83（2022.01）I;B01F35/214（2022.01）I;B01D19/00（2006.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 左國軍;饒相松;成旭;李雄朋;陳雷;邱瑞;申斌 申請（專利權(quán)）人 創(chuàng)微微電子（常州）有限公司
代理機構(gòu) 北京友聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 汪海屏;王淑梅
地址 213133江蘇省常州市新北區(qū)機電工業(yè)園寶塔山路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)岢隽艘环N自動氣液分離供酸系統(tǒng)，屬于半導體及泛半導體技術(shù)領(lǐng)域，自動氣液分離供酸系統(tǒng)包括：藥液桶，藥液桶用于盛放液體；泵體，泵體的一端與藥液桶連通；氣液分離罐，與泵體的另一端連通，氣液分離罐中設有網(wǎng)板，網(wǎng)板上設有通孔，其中，泵體用于抽取液體到氣液分離罐中，網(wǎng)板用于打散液體中的氣泡。通過本申請的技術(shù)方案，可自動過濾泵體抽空產(chǎn)生的氣泡，不需要人干預，從而提高配液精度，進而改善工藝槽配液精度。