烘干設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120761513.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214665673U 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN214665673U 申請公布日 2021-11-09
分類號 F26B9/06（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I;F26B21/14（2006.01）I 分類 干燥;
發(fā)明人 左國軍;成旭;談麗文;陳雷;申斌;邱瑞 申請（專利權(quán)）人 創(chuàng)微微電子（常州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京友聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 尚志峰;汪海屏
地址 213133江蘇省常州市新北區(qū)機(jī)電工業(yè)園寶塔山路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請屬于晶圓干燥技術(shù)領(lǐng)域，提供烘干設(shè)備。烘干設(shè)備包括：烘干區(qū)，設(shè)有抽風(fēng)腔和能夠打開或封閉的烘干腔，烘干腔用于放置工件，抽風(fēng)腔與烘干腔相互連通；氣路安裝區(qū)，與烘干腔通過管路連接，氣路安裝區(qū)用于為烘干腔輸入加熱氮?dú)猓恢鞒轱L(fēng)管道，與烘干區(qū)連接，主抽風(fēng)管道用于排出廢氣；框架，用于設(shè)置烘干區(qū)、氣路安裝區(qū)與主抽風(fēng)管道。本申請通過框架實(shí)現(xiàn)了結(jié)構(gòu)優(yōu)化，提升了安裝空間，更有利于操作，且可以防止外部廠務(wù)空氣對內(nèi)部晶圓的污染。通過向烘干腔充入加熱氮?dú)?，能夠減少現(xiàn)場操作人員以及設(shè)備的安全隱患，還降低了處理廢氣的成本。