半導(dǎo)體清洗設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122108950.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215815803U 公開（公告）日 2022-02-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN215815803U 申請(qǐng)公布日 2022-02-11
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 左國軍;龔澤熙;莊海云;李雄朋 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 創(chuàng)微微電子（常州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京友聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 汪海屏;王淑梅
地址 213133江蘇省常州市新北區(qū)機(jī)電工業(yè)園寶塔山路9號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N半導(dǎo)體清洗設(shè)備，包括：機(jī)架；多個(gè)處理槽，多個(gè)處理槽位于機(jī)架內(nèi)；門組件，設(shè)于機(jī)架上，與機(jī)架活動(dòng)連接；連接機(jī)構(gòu)，包括電磁鐵組件和吸附組件，電磁鐵組件和吸附組件分別設(shè)于機(jī)架和門組件上，連接機(jī)構(gòu)用于使門組件相對(duì)于機(jī)架處于開啟或閉合狀態(tài)；提示裝置，設(shè)于門組件上，用于提示門組件的實(shí)時(shí)狀態(tài)。通過本申請(qǐng)的技術(shù)方案，門組件能夠在機(jī)架上實(shí)現(xiàn)自鎖和解鎖，可以防止人為疏漏，并且方便維護(hù)工作。