晶圓視覺(jué)檢測(cè)方法、檢測(cè)系統(tǒng)、檢測(cè)晶圓損壞的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110316188.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113161254A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113161254A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-23 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/66;H01L21/67 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 左國(guó)軍;任金枝;范生剛;馬冠男 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 創(chuàng)微微電子（常州）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京友聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 汪海屏;王淑梅 |
| 地址 | 213133 江蘇省常州市新北區(qū)機(jī)電工業(yè)園寶塔山路9號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種晶圓視覺(jué)檢測(cè)方法、檢測(cè)系統(tǒng)、檢測(cè)晶圓損壞的方法。其中，晶圓視覺(jué)檢測(cè)方法包括：在上料區(qū)檢測(cè)晶圓盒的位置偏移；在工作區(qū)檢測(cè)晶圓的損壞情況；在下料區(qū)檢測(cè)晶圓的第一數(shù)量。從而利用在不同區(qū)域的晶圓盒定位、晶圓損壞情況、晶圓數(shù)量檢測(cè)，完善晶圓的檢測(cè)機(jī)制，保證檢測(cè)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，使得用戶可以實(shí)時(shí)監(jiān)控晶圓和晶圓盒的狀態(tài)，有效的避免設(shè)備異常造成的成本損失。 |
