晶圓視覺檢測方法、檢測系統(tǒng)、檢測晶圓損壞的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110316188.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113161254A 公開（公告）日 2021-07-23
申請公布號 CN113161254A 申請公布日 2021-07-23
分類號 H01L21/66;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 左國軍;任金枝;范生剛;馬冠男 申請（專利權(quán)）人 創(chuàng)微微電子（常州）有限公司
代理機構(gòu) 北京友聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 汪海屏;王淑梅
地址 213133 江蘇省常州市新北區(qū)機電工業(yè)園寶塔山路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種晶圓視覺檢測方法、檢測系統(tǒng)、檢測晶圓損壞的方法。其中，晶圓視覺檢測方法包括：在上料區(qū)檢測晶圓盒的位置偏移；在工作區(qū)檢測晶圓的損壞情況；在下料區(qū)檢測晶圓的第一數(shù)量。從而利用在不同區(qū)域的晶圓盒定位、晶圓損壞情況、晶圓數(shù)量檢測，完善晶圓的檢測機制，保證檢測數(shù)據(jù)的準確性，使得用戶可以實時監(jiān)控晶圓和晶圓盒的狀態(tài)，有效的避免設(shè)備異常造成的成本損失。