半導(dǎo)體清洗設(shè)備的隔離裝置和半導(dǎo)體清洗設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122489264.6 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN215988678U 公開（公告）日 2022-03-08
申請公布號(hào) CN215988678U 申請公布日 2022-03-08
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 左國軍;邱瑞;成旭;李雄朋;陳雷;談麗文;申斌 申請（專利權(quán)）人 創(chuàng)微微電子（常州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京友聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 汪海屏;王淑梅
地址 213133江蘇省常州市新北區(qū)機(jī)電工業(yè)園寶塔山路9號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提出了一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備的隔離裝置和半導(dǎo)體清洗設(shè)備，半導(dǎo)體清洗設(shè)備的隔離裝置包括：驅(qū)動(dòng)模塊，包括主體和活動(dòng)部，主體用于驅(qū)動(dòng)活動(dòng)部移動(dòng)；多個(gè)緩沖器，沿活動(dòng)部的位移路徑，分別位于活動(dòng)部的第一側(cè)和第二側(cè)；擋板，與活動(dòng)部相連接。本實(shí)用新型提出的半導(dǎo)體清洗設(shè)備的隔離裝置，活動(dòng)部可活動(dòng)地設(shè)置在主體上，主體可驅(qū)動(dòng)活動(dòng)部移動(dòng)，并且，活動(dòng)部上設(shè)置有擋板，能夠隔離兩個(gè)清洗槽，進(jìn)而在半導(dǎo)體清洗過程中，降低兩個(gè)清洗槽之間酸氣相互躥動(dòng)的可能，提升半導(dǎo)體潔凈度和良品率，并且，可以通過活動(dòng)部的運(yùn)動(dòng)，使得擋板不再間隔兩個(gè)清洗槽，從而便于半導(dǎo)體在兩個(gè)清洗槽之間的運(yùn)輸。