載體擺動機構(gòu)和處理設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120762605.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214753665U 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN214753665U 申請公布日 2021-11-16
分類號 H01L21/67（2006.01）I;B08B3/10（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 左國軍;申斌;饒相松;成旭;李雄朋;陳雷;任金枝 申請（專利權(quán)）人 創(chuàng)微微電子（常州）有限公司
代理機構(gòu) 北京友聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 尚志峰;汪海屏
地址 213133江蘇省常州市新北區(qū)機電工業(yè)園寶塔山路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型的實施例提供了一種載體擺動機構(gòu)和處理設(shè)備，其中載體擺動機構(gòu)包括：擺動平臺，擺動平臺的底部設(shè)有擺動軸；動力組件；傳動組件，傳動組件的兩端分別連接動力組件和擺動平臺，動力組件用于通過傳動組件帶動擺動平臺繞擺動軸擺動。本實用新型的技術(shù)方案中，動力組件能夠通過傳動組件驅(qū)動擺動平臺擺動，即擺動平臺能夠相對處理槽進行擺動，放置在擺動平臺上的待處理件可以按要求做往復(fù)的傾斜角度變化，使待處理件在處理槽內(nèi)能夠按預(yù)設(shè)方向傾斜，從而達到動態(tài)清洗的目的，這種方式可以在很大程度上消除清洗干燥死區(qū)，提升清洗效果及清洗效率。