一種超大角度電磁驅(qū)動(dòng)微鏡

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110388029.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112904553B 公開(kāi)（公告）日 2021-12-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN112904553B 申請(qǐng)公布日 2021-12-14
分類(lèi)號(hào) G02B26/08（2006.01）I 分類(lèi) 光學(xué);
發(fā)明人 程進(jìn);徐乃濤;孫其梁;李宋澤;隋明達(dá) 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 無(wú)錫微視傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫華源專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 聶啟新
地址 213400江蘇省無(wú)錫市錫山二泉東路集智廣場(chǎng)14層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種超大角度電磁驅(qū)動(dòng)微鏡，涉及微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，包括微鏡以及設(shè)于微鏡兩側(cè)的新型磁體結(jié)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)線(xiàn)圈和錨點(diǎn)，微鏡通過(guò)兩個(gè)對(duì)稱(chēng)的扭轉(zhuǎn)梁分別連接錨點(diǎn)的一側(cè)，錨點(diǎn)的另一側(cè)通過(guò)扭轉(zhuǎn)梁連接微鏡的硅基板，錨點(diǎn)用于固定微鏡；驅(qū)動(dòng)線(xiàn)圈設(shè)置在微鏡兩側(cè)的硅基板上，每側(cè)的新型磁體結(jié)構(gòu)圍繞驅(qū)動(dòng)線(xiàn)圈設(shè)置，用于產(chǎn)生與驅(qū)動(dòng)線(xiàn)圈運(yùn)動(dòng)軌跡相切的輻射狀磁場(chǎng)；驅(qū)動(dòng)線(xiàn)圈外接電源時(shí)，使作用于硅基板上的扭轉(zhuǎn)力矩方向相同，微鏡通過(guò)硅基板傳遞的扭轉(zhuǎn)力矩以扭轉(zhuǎn)梁為軸發(fā)生偏轉(zhuǎn)。該結(jié)構(gòu)能夠在小電流下得到更大的偏轉(zhuǎn)角度，減低了功率；且偏轉(zhuǎn)時(shí)磁場(chǎng)強(qiáng)度不變，驅(qū)動(dòng)線(xiàn)圈的電磁力只沿扭轉(zhuǎn)力矩方向，并與驅(qū)動(dòng)電流呈線(xiàn)性關(guān)系，可控性高。