基于MEMS的非等間距梳齒結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023278014.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214011635U 公開（公告）日 2021-08-20
申請公布號 CN214011635U 申請公布日 2021-08-20
分類號 G02B26/08（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 孫其梁;徐乃濤;程進(jìn);張?zhí)硖?/td> 申請（專利權(quán)）人 無錫微視傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 聶啟新
地址 213400江蘇省無錫市錫山二泉東路集智廣場14層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了基于MEMS的非等間距梳齒結(jié)構(gòu)，涉及微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域，包括圍繞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的上梳齒結(jié)構(gòu)以及位于上梳齒結(jié)構(gòu)下方的下梳齒結(jié)構(gòu)，上梳齒結(jié)構(gòu)包括若干個間隔設(shè)置的可動梳齒，且越遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)軸可動梳齒的梳齒間隙逐漸增大，下梳齒結(jié)構(gòu)包括若干個等間隔設(shè)置的固定梳齒，可動梳齒與固定梳齒沿梳齒布置方向交錯設(shè)置、互不接觸，且可動梳齒的下邊緣與固定梳齒的上邊緣齊平，每個可動梳齒與其相鄰右側(cè)的固定梳齒的水平間距均不相等，根據(jù)水平間距設(shè)定值，對非等間距梳齒結(jié)構(gòu)施加電壓時，可動梳齒運(yùn)動至對應(yīng)的相鄰固定梳齒間隙時，每個可動梳齒的中心點均保持在對應(yīng)的相鄰固定梳齒間隙的中軸線上。因此不會出現(xiàn)異常吸合，保證MEMS器件的可靠性。