一種水霧浸潤(rùn)懸空膜空腔結(jié)構(gòu)及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110706867.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113488409A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113488409A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 袁佳;孫其梁;徐乃濤;程進(jìn) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 無(wú)錫微視傳感科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無(wú)錫華源專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 聶啟新 |
| 地址 | 213400江蘇省無(wú)錫市錫山二泉東路集智廣場(chǎng)14層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種水霧浸潤(rùn)懸空膜空腔結(jié)構(gòu)及方法，包括用于固定晶圓的套具、與套具配合使用的加濕器，套具包括兩端敞口的底托、安裝于底托頂部的蓋子，底托和蓋子形成的腔室中設(shè)有噴霧花灑，所述噴霧花灑上設(shè)有若干噴孔；在噴霧花灑的圓周位置設(shè)有用于承托晶圓的托件，加濕器包括水槽、位于水槽中的水霧出口，水霧出口與噴霧花灑的進(jìn)水口連通，水槽的內(nèi)壁與底托的外壁貼合。所述蓋子為錐形，承托臺(tái)階內(nèi)壁為指向水槽圓心的斜面，托件安裝于承托臺(tái)階內(nèi)壁上。本發(fā)明通過(guò)利用加濕器噴出的水霧，借助特制套具的功能，將水霧均勻的分布在晶圓的空腔內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)浸潤(rùn)效果，很大程度的降低了加工成本，提高了效率。 |
