一種超大角度電磁驅(qū)動(dòng)微鏡
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202110388029.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112904553A | 公開（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申請公布號(hào) | CN112904553A | 申請公布日 | 2021-06-04 |
| 分類號(hào) | G02B26/08 | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 程進(jìn);徐乃濤;孫其梁;李宋澤;隋明達(dá) | 申請（專利權(quán)）人 | 無錫微視傳感科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 聶啟新 |
| 地址 | 213400 江蘇省無錫市錫山二泉東路集智廣場14層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種超大角度電磁驅(qū)動(dòng)微鏡，涉及微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，包括微鏡以及設(shè)于微鏡兩側(cè)的新型磁體結(jié)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)線圈和錨點(diǎn)，微鏡通過兩個(gè)對稱的扭轉(zhuǎn)梁分別連接錨點(diǎn)的一側(cè)，錨點(diǎn)的另一側(cè)通過扭轉(zhuǎn)梁連接微鏡的硅基板，錨點(diǎn)用于固定微鏡；驅(qū)動(dòng)線圈設(shè)置在微鏡兩側(cè)的硅基板上，每側(cè)的新型磁體結(jié)構(gòu)圍繞驅(qū)動(dòng)線圈設(shè)置，用于產(chǎn)生與驅(qū)動(dòng)線圈運(yùn)動(dòng)軌跡相切的輻射狀磁場；驅(qū)動(dòng)線圈外接電源時(shí)，使作用于硅基板上的扭轉(zhuǎn)力矩方向相同，微鏡通過硅基板傳遞的扭轉(zhuǎn)力矩以扭轉(zhuǎn)梁為軸發(fā)生偏轉(zhuǎn)。該結(jié)構(gòu)能夠在小電流下得到更大的偏轉(zhuǎn)角度，減低了功率；且偏轉(zhuǎn)時(shí)磁場強(qiáng)度不變，驅(qū)動(dòng)線圈的電磁力只沿扭轉(zhuǎn)力矩方向，并與驅(qū)動(dòng)電流呈線性關(guān)系，可控性高。 |
