一種離軸式MEMS微鏡及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110176090.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112965240A 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN112965240A 申請公布日 2021-06-15
分類號 G02B26/08（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I;B81B5/00（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 徐乃濤;程進(jìn);孫其梁;李宋澤 申請（專利權(quán)）人 無錫微視傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 聶啟新
地址 213400江蘇省無錫市錫山二泉東路集智廣場14層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種離軸式MEMS微鏡及其制備方法，涉及微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域，包括第一微鏡、第二微鏡、第一固定梳齒、第二固定梳齒、驅(qū)動(dòng)電極，第一微鏡和第二微鏡以轉(zhuǎn)軸為軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)，第一微鏡用于入射激光的掃描反射，第二微鏡用于同步接收反射激光，驅(qū)動(dòng)電極提供驅(qū)動(dòng)電壓；兩個(gè)微鏡的動(dòng)梳齒之間以及分別與兩個(gè)固定梳齒形成第一垂直梳齒對、第二垂直梳齒對和第三垂直梳齒對，第一垂直梳齒對、第二垂直梳齒對分別為第一微鏡和第二微鏡提供順時(shí)針方向偏轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)力，第三垂直梳齒對為第一微鏡和第二微鏡提供逆時(shí)針方向偏轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)力，通過制造垂直梳齒對結(jié)構(gòu)間的電勢差使兩個(gè)微鏡在某個(gè)周期段相互吸引、不再獨(dú)立控制，實(shí)現(xiàn)完全同頻、同相位的偏轉(zhuǎn)狀態(tài)。