一種用于MEMS微鏡的防撞結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021511994.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN213544953U 公開(kāi)(公告)日 2021-06-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN213544953U 申請(qǐng)公布日 2021-06-25
分類號(hào) G02B26/08(2006.01)I;F16F15/04(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 孫其梁;徐乃濤;程進(jìn);李宋澤 申請(qǐng)(專利權(quán))人 無(wú)錫微視傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京伊諾未來(lái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 楊群
地址 214000江蘇省無(wú)錫市錫山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)二泉東路19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于MEMS微鏡的防撞結(jié)構(gòu),包括底板,所述底板頂端分別開(kāi)設(shè)有多個(gè)限位槽與多個(gè)卡槽,多個(gè)所述卡槽卡合連接有多個(gè)卡塊,多個(gè)所述卡塊頂端共同連接有防護(hù)板,所述防護(hù)板頂端固定連接有頂板,所述限位槽內(nèi)側(cè)壁光滑貼合有限位桿,本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置限位桿與彈簧,限位桿的設(shè)置避免彈簧在受到震動(dòng)時(shí)而偏移,從而減少M(fèi)EMS微鏡主體的晃動(dòng)幅度,從而大大提高M(jìn)EMS微鏡主體工作時(shí)的穩(wěn)定性,該裝置操作簡(jiǎn)單,使用效果更好,大大提高M(jìn)EMS微鏡主體減震效果,從而使得MEMS微鏡主體可以更加穩(wěn)定的工作,避免MEMS微鏡主體受震動(dòng)而損傷。