一種爆炸場(chǎng)MEMS壓阻式壓力傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110798999.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113483926A 公開（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113483926A 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) G01L1/22（2006.01）I;G01L9/04（2006.01）I;G01L9/00（2006.01）I;G01L19/06（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 康昊;嚴(yán)家佳;陳君;何性順;張俊峰;王丹;葉希洋;姬建榮;蘇健軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安近代化學(xué)研究所
代理機(jī)構(gòu) 西安恒泰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 史玫
地址 710065陜西省西安市雁塔區(qū)丈八東路168號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種爆炸場(chǎng)MEMS壓阻式壓力傳感器，包括了兩個(gè)尺寸不同的敏感膜片，其中較小硅應(yīng)變膜可以設(shè)計(jì)為靈敏度較小，量程較大的結(jié)構(gòu)，具有較強(qiáng)的過(guò)載能力，滿足沖擊波壓力峰值的測(cè)量；除此之外，其中較大硅應(yīng)變膜的上方設(shè)置帶有通孔的硅蓋帽，蓋帽與相應(yīng)硅應(yīng)變膜形成了空腔，通過(guò)合理設(shè)計(jì)氣孔和空腔的體積可以濾除具有高頻特征的沖擊波壓力信號(hào)，使具有低頻、零頻的準(zhǔn)靜態(tài)壓力信號(hào)作用于相應(yīng)硅應(yīng)變膜；并且，兩個(gè)敏感膜片的背面均設(shè)計(jì)有島，當(dāng)壓力超過(guò)量程時(shí)，島會(huì)與玻璃基底接觸，具有一定的抗過(guò)載能力，進(jìn)一步保護(hù)了具有高靈敏度、小量程的第一硅應(yīng)變膜。