一種擴(kuò)散爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123454580.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216719881U 公開（公告）日 2022-06-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN216719881U 申請(qǐng)公布日 2022-06-10
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;C30B31/16（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張景;張良;程尚之 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽華晟新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 242000安徽省宣城市開發(fā)區(qū)安徽省宣城經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)科技園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種擴(kuò)散爐。所述擴(kuò)散爐包括：擴(kuò)散反應(yīng)腔；氣路管，所述氣路管包括：氣路主體管、以及與所述氣路主體管連接的氣路進(jìn)口段和氣路出口段；所述氣路主體管位于所述擴(kuò)散反應(yīng)腔的腔內(nèi)，所述氣路進(jìn)口段和所述氣路出口段位于所述擴(kuò)散反應(yīng)腔的腔外；所述氣路主體管的管壁開設(shè)有若干個(gè)擴(kuò)散氣孔；承載件，沿所述氣路主體管的延伸方向設(shè)置于所述擴(kuò)散反應(yīng)腔的腔內(nèi)，適于承載待處理襯底。所述擴(kuò)散爐加工方式簡(jiǎn)單，可以提高擴(kuò)散反應(yīng)腔內(nèi)擴(kuò)散氣體的均勻性，充分去除擴(kuò)散爐內(nèi)殘留的氣體污染物，還可以減少擴(kuò)散反應(yīng)腔降溫冷卻的時(shí)間，加快工藝進(jìn)度。