一種硅料真空烘干裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120301332.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214333207U 公開（公告）日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN214333207U 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) F26B5/04（2006.01）I;F26B11/16（2006.01）I;F26B23/08（2006.01）I;F26B25/04（2006.01）I 分類 干燥;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東珠海香洲高景太陽能技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 盧澤明
地址 519000廣東省珠海市香洲區(qū)拱北桂花北路205號(hào)北嶺桂花工業(yè)村1棟1層11100室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種硅料真空烘干裝置，包括烘干槽和真空發(fā)生器，所述烘干槽設(shè)有抽真空通道，所述真空發(fā)生器與所述抽真空通道氣道連接，所述烘干槽包括烘干主槽和烘干內(nèi)層，所述烘干內(nèi)層設(shè)于所述烘干主槽的內(nèi)側(cè)，所述烘干內(nèi)層由非金屬材料制成。本實(shí)用新型中烘干槽的烘干內(nèi)層由非金屬材料制成，更具體的為四氟材料制成，避免了烘干槽在使用過程中可能出現(xiàn)的碎屑產(chǎn)生的隱患，杜絕了任何形式的金屬直接或間接接觸硅料的情況，解決了硅料經(jīng)過真空后出現(xiàn)表面金屬雜質(zhì)含量提高的問題，提高硅料純度，保證生產(chǎn)質(zhì)量。