金剛線切割大尺寸硅片用切割液及其制備工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110283385.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112961726A 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN112961726A 申請公布日 2021-06-15
分類號 C10M173/00;C10N30/06;C10N40/22;C10N30/02;C10N30/04 分類 石油、煤氣及煉焦工業(yè)；含一氧化碳的工業(yè)氣體；燃料；潤滑劑；泥煤;
發(fā)明人 付明全;呂炳國 申請（專利權）人 廣東珠海香洲高景太陽能技術有限公司
代理機構 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 代理人 盧澤明
地址 519000 廣東省珠海市橫琴新區(qū)榮澳道153號4幢二層B25單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及切割液技術領域，公開了一種金剛線切割大尺寸硅片用切割液及其制備工藝。所述切割液以質量分數(shù)計，包括：所述切割液通過消泡劑和潤濕劑與潤滑劑的復配，提高了切割液的潤滑性以及滲透力，使切割液能夠滲入金剛線的線網(wǎng)與硅片或者線網(wǎng)與硅片碎屑之間，形成一層潤滑膜，減小了切割帶來的損傷、應力以及微裂；同時能夠快速冷卻正在進行切割的大尺寸硅片表面，還使得切割過程中產(chǎn)生的微粉有效的分散到由水和潤滑劑以及潤濕劑組成的混合液中，防止在切割的局部有硅粉聚集，對硅片的切割造成影響或者損害。