一種耐高壓的ESD保護(hù)器件、結(jié)構(gòu)及制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110740418.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113192952B 公開(kāi)（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113192952B 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) H01L27/02（2006.01）I;H01L21/8222（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉森;劉筱偉;劉海彬;向可強(qiáng);班桂春 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 微龕（廣州）半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 510663廣東省廣州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)科學(xué)大道18號(hào)A棟十一層1101單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種耐高壓的ESD保護(hù)器件、結(jié)構(gòu)及制備方法，所述耐高壓的ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)包括ESD保護(hù)模塊和保護(hù)環(huán)；所述保護(hù)環(huán)位于所述ESD保護(hù)模塊的外周，所述保護(hù)環(huán)用于減少所述ESD保護(hù)模塊對(duì)外界的干擾；所述耐高壓ESD保護(hù)器件包括多個(gè)保護(hù)環(huán)和多個(gè)高壓ESD保護(hù)模塊；各個(gè)保護(hù)環(huán)通過(guò)相互連接形成一個(gè)整體；各個(gè)保護(hù)模塊之間相互并聯(lián)。本發(fā)明解決了高壓ESD保護(hù)器件的耐高壓?jiǎn)栴}，通過(guò)利用多種類型的二極管連接形成穩(wěn)壓結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了高壓ESD保護(hù)，同時(shí)提出了利用分割保護(hù)環(huán)對(duì)其進(jìn)行屏蔽的設(shè)計(jì)，提升了整體耐壓能力。所以，本發(fā)明有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。