雙向ESD保護(hù)器件、結(jié)構(gòu)及制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011235908.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112151534B 公開(kāi)（公告）日 2021-08-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN112151534B 申請(qǐng)公布日 2021-08-17
分類號(hào) H01L27/02;H01L21/84 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 史林森;劉興龍;關(guān)宇軒;李建平;劉森 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 微龕（廣州）半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 佟婷婷
地址 510663 廣東省廣州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)科學(xué)大道18號(hào)A棟十一層1101單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種雙向ESD保護(hù)器件、結(jié)構(gòu)及制備方法，ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)包括至少一個(gè)ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)單元，ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)單元包括基底、N阱、第一P阱、第二P阱、第一P注入?yún)^(qū)、第二P注入?yún)^(qū)、第三P注入?yún)^(qū)、第一N注入?yún)^(qū)、第二N注入?yún)^(qū)、第一導(dǎo)電柵、第二導(dǎo)電柵及功能層引出結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的雙向ESD保護(hù)器件、結(jié)構(gòu)及制備方法，通過(guò)前柵可以改變阱的電勢(shì)，背柵不僅可以改變阱電勢(shì)，還可以改變集電結(jié)的勢(shì)壘，實(shí)現(xiàn)對(duì)觸發(fā)電壓的調(diào)制。無(wú)論正向還是反向的靜電信號(hào)，都可以實(shí)現(xiàn)正負(fù)的調(diào)制，電壓范圍可變化而不影響其它器件，極大的增加了設(shè)計(jì)的靈活性以及系統(tǒng)的可靠性。本發(fā)明可采用多指結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提升泄放電流能力。