溝槽型晶體管及其形成方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210039022.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114496796A 公開（公告）日 2022-05-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN114496796A 申請(qǐng)公布日 2022-05-13
分類號(hào) H01L21/336（2006.01）I;H01L29/78（2006.01）I;H01L29/423（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 魏峰;相奇;戴學(xué)春 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東芯粵能半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市嘉勤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 510000廣東省廣州市南沙區(qū)黃閣鎮(zhèn)金茂西二街2號(hào)103房之六
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開一種溝槽型晶體管及其形成方法，所述形成方法包括：提供基底；在所述基底內(nèi)形成第一溝槽；在所述第一溝槽的內(nèi)部表面形成柵介質(zhì)材料層；刻所述第一溝槽底部的柵介質(zhì)材料層至暴露出所述第一溝槽的底部的基底，形成位于所述第一溝槽側(cè)壁的柵介質(zhì)層；繼續(xù)沿所述第一溝槽刻蝕所述基底，在所述第一溝槽底部形成所述第二溝槽；在所述第二溝槽的內(nèi)壁表面形成隔離層；在所述第一溝槽和所述第二溝槽內(nèi)填充柵極。上述方法形成的溝槽型晶體管的性能得到提高。