用于氧化鎵材料的微波退火改性方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011603875.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112652539B 公開（公告）日 2022-06-10
申請公布號 CN112652539B 申請公布日 2022-06-10
分類號 H01L21/477（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馬宏平;侯欣藍 申請（專利權(quán)）人 光華臨港工程應(yīng)用技術(shù)研發(fā)（上海）有限公司
代理機構(gòu) 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于氧化鎵材料的微波退火改性方法。所述用于氧化鎵材料的微波退火改性方法包括如下步驟：提供一襯底，所述襯底表面具有由氧化鎵層；在預(yù)設(shè)溫度下對所述氧化鎵層進行微波退火處理，所述預(yù)設(shè)溫度低于擴散溫度，所述擴散溫度為所述氧化鎵層中的氧化鎵材料與所述襯底之間發(fā)生熱擴散的最低溫度。本發(fā)明避免了現(xiàn)有傳統(tǒng)的退火方式在退火過程中因退火溫度過高而易發(fā)生氧化鎵層與襯底之間熱擴散的問題，且微波退火成本低廉，從而降低了氧化鎵材料的退火處理成本，利于大規(guī)模量化生產(chǎn)。