一種熱敏探測(cè)器性能參數(shù)測(cè)試結(jié)構(gòu)和測(cè)試方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110285398.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113219317B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113219317B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-15 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01R31/265（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 黃鵬;傅劍宇;周瓊;劉超;侯影;馮萬(wàn)進(jìn);陳大鵬 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 無(wú)錫物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新中心有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無(wú)錫市大為專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 殷紅梅 |
| 地址 | 214135江蘇省無(wú)錫市新區(qū)菱湖大道200號(hào)中國(guó)傳感網(wǎng)國(guó)際創(chuàng)新園E2座112 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及MEMS器件性能參數(shù)測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種熱敏探測(cè)器性能參數(shù)測(cè)試結(jié)構(gòu)，包括敏感區(qū)、懸臂梁和框架，其中，敏感區(qū)通過(guò)懸臂梁分別與兩組框架連接，并懸空；框架關(guān)于敏感區(qū)左右對(duì)稱(chēng)設(shè)置，敏感區(qū)內(nèi)設(shè)置有電阻和熱敏單元，懸臂梁內(nèi)設(shè)置有多條導(dǎo)線，框架上設(shè)置有第一電連接端口和第二電連接端口，電阻通過(guò)兩組導(dǎo)線分別與兩組第一電連接端口連接，熱敏單元通過(guò)兩組導(dǎo)線分別與兩組第二電連接端口連接。本發(fā)明還公開(kāi)了一種熱敏探測(cè)器性能參數(shù)測(cè)試方法。本發(fā)明提供的一種熱敏探測(cè)器性能參數(shù)測(cè)試結(jié)構(gòu)，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、測(cè)量準(zhǔn)確等特點(diǎn)。 |
