一種激光平整度測(cè)量誤差補(bǔ)償方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310194842.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103245309B 公開（公告）日 2017-12-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN103245309B 申請(qǐng)公布日 2017-12-12
分類號(hào) G01B11/30 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 陳尚儉;鄭俊;譚大鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州鼎熱科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 310019 浙江省杭州市江干區(qū)九盛路9號(hào)24幢1樓1056室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種激光平整度測(cè)量誤差補(bǔ)償方法，其特征在于，由亞像素圖像散射補(bǔ)償、基準(zhǔn)傾角補(bǔ)償、光斑異變對(duì)中補(bǔ)償三部分組成，有效地提高激光平面度測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量精度。所述的亞像素圖像散射補(bǔ)償是利用像素邊緣識(shí)別方法解決激光束由于長(zhǎng)距離傳輸而產(chǎn)生的散射問題，可使得平面測(cè)量的垂直精度得到保證。所述的基準(zhǔn)傾角補(bǔ)償利用傾角變換高度方法解決激光標(biāo)靶放置的基準(zhǔn)偏差問題，可使得激光標(biāo)靶的高度基準(zhǔn)得到保證。所述的光斑異變對(duì)中補(bǔ)償利用往復(fù)微動(dòng)方法解決激光的光斑大小隨著目標(biāo)距離的變化而異變問題，提高激光點(diǎn)的投射精度。