一種反應(yīng)腔裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202022651965.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213583693U | 公開（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申請公布號 | CN213583693U | 申請公布日 | 2021-06-29 |
| 分類號 | H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 邱勇;孫曉東 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海訊穎電子科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種反應(yīng)腔裝置，包括：反應(yīng)腔主體；位于所述反應(yīng)腔主體內(nèi)的晶圓夾持平臺，所述晶圓夾持平臺的表面適于放置晶圓；貫穿所述晶圓夾持平臺的若干位移孔；分別位于所述位移孔中的頂針，所述頂針的頂頭設(shè)置有測溫探頭，所述頂針適于在所述位移孔中往復(fù)移動，使所述頂針的頂頭在高于所述晶圓夾持平臺的上表面的位置至低于所述晶圓夾持平臺的上表面的位置之間變化。所述反應(yīng)腔裝置能夠?qū)2混合氣還原灰化反應(yīng)中的晶圓的溫度進行有效的控制和調(diào)節(jié)。 |
